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台阶仪

发布时间:2022-11-05

台阶仪

美国布鲁克DEKTAK XT适用于纳米尺度的表面美国布鲁克DEKTAK XT适用于纳米尺度的表面轮廓测量、薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量,应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域。

 

扫描长度范围:55mm(2英寸)

每次扫描数据点:最多可达120000数据点

最大样品厚度:50mm(2英寸)

最大晶圆尺寸:200mm(8英寸),应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域。

 

扫描长度范围:55mm(2英寸)

每次扫描数据点:最多可达120000数据点

最大样品厚度:50mm(2英寸)

最大晶圆尺寸:200mm(8英寸)