一、基本原理

       飞行时间-二次离子质谱仪（Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry，简称TOF-SIMS） 是一种基于质谱的表面分析技术。其原理是基于一次离子与样品表面相互作用（如下图）。高能一 次离子束（如Ga+ ，Bi3+ ， Arn+ ，Cs+等）轰击样品表面，在轰击区域产生包含样品表面成分信息的 带电粒子即离子，这些带电离子经过质量分析后得到表面成分信息的质谱，简称二次离子质谱。

二、工作方式

       通过质谱图可以获取: 1>.样品表面的分子、元素以及同位素等信息; 2>. 可以探测化学元素或化合 物在样品表面和内部的分布; 3>. 也可以用于生物组织表面和内部化学成分的成像分析，配合样品 表面扫描和剥离; 4>. 还可以得到样品表层和内部化学成分的3D成像。

三、对样品的要求

5.1样品导电性：所无论是导体, 半导体还是绝缘样品，都可以分析。

5.2磁性材料不可分析。

5.3样品形态：可对固体、液体样品进行分析，但不能对其中的挥发性成分进行 分析。

5.4样品尺寸尽可能小：长/宽最好不超过1cm，厚度不超过5mm.

5.5样品平整度：测试面尽量平整。

5.6样品的待测位置一定是该样品的最高表面或比最高表面在同一平面内的位置，否则制样成该要求。

5.7样品保存条件：需测试样品表面成分的，请不要对样品进行擦拭、触摸等，避免污染测试面。

5.8样品包装条件：样品用干净材料包装，尽量避免接触测试面，存放于温湿度适宜条件下。有条件可 以真空包装保存。