设备名称：聚焦离子束电子束双束显微镜

型号：Helios 5 UX           

制造厂家：美国 ThermoFisher 公司

功能用途：

使用Ga离子束进行各类材料的纳微米级尺度高精度加工、修改、成型和高分辨成像。结合电子束高分辨显微表征、能谱和EBSD等辅助分析，进行材料高分辨微观形貌、三维结构、晶体取向及元素含量分析信息测试。利用纳米机械手，可以进行TEM样品的制备。

技术参数：

1. 离子源：Ga离子液态离子源。

2. 离子束交叉点分辨率：2.5 nm@30 kV（选边法），4.5 nm@30 kV （多边法）。

3. 离子束加速电压：0.5 kV ~ 30 kV。

4. 离子束流强度：1.0 pA ~ 65 nA。

5.  X、Y 方向移动范围 150 mm；Z 范围 10 mm；倾斜范围-10 度至 60 度；可绕 Z 轴旋转任意角度（360 度）

案例分享：