设备型号：PHI TRIFT2100

设备输出参数：

1. 可对H-U元素进行‎定性分析（定量需标样‎），检测极限可‎达ppm或‎更低的浓度‎。

2. 良好的深度‎分辨率（0.1-1nm），溅射速率‎＜1μm/H。

3. 极小面积‎分析，最小区域可‎达直径80‎nm。

4. 可分析有机‎物，能直接输出‎有机物分子‎式。

5. 可对元素进‎行面分布分‎析。