SEM是扫描电子显微镜，用二次电子成像的原理来观察某种物质的微观形貌。EDS是能谱仪，是每种元素对应的电子能不同，来鉴别元素，通常与SEM结合使用，也就是说在SEM上安装EDS附件，在观看形貌时，选择一定区域进行EDS测试，就能了解该区域的元素组成。

SEM/EDS能解决什么问题？我们可以从以下4方面进行分类：

1. 微观形貌观察及尺寸测量，如断口显微形貌观察，电子产品内部结构观察，表⾯形貌观察，镀层厚度测量，  锡须长度测量等；

2. 材料微观结构观察，如金属材料的晶粒及晶界分析， 铸铁材料石墨形态分析、钢铁材料的金相观察， 纳米材料分析等；

3. 区成分分析，利用电子束与物质作用时产生的特征X射线，表征材料元素方面的信息，可定性、半定量Be-U的元素 ；

4. 定位测试点，如在失效分析中可以用来定位失效点，  在异物分析中可以用来定位异物点。

测试案例：

元素分析-点扫EDS Point scan

元素分析-点扫EDS Line scan

元素分析-面扫EDS Mapping