表面分析技术是通过研究微观粒子与表面的相互作用获得表面信息，研究物质表面的形貌、化学组成、原子结构、原子态等信息；目前常用的表面成分分析技术有：X射线光电子能谱(XPS）、俄歇电子能谱(AES)、静态二次离子质谱(SIMS)和离子散射谱(ISS)。

XPS是一种对固体表面进行定性、定量分析和结构鉴定的实用性很强的表面分析方法。基本原理是在单色（或准单色）X射线照射下，测量材料表面所发射的光电子能谱来获取表面化学成分、化学态、分子结构等方面的信息。

XPS常见应用：

1. 表面元素定性分析

2. 表面元素价态分析

3. 元素沿深度方向分布分析

4. XPS元素刻蚀分析