一文看懂扫描电子显微镜SEM
发布时间:2023-12-07
扫描电镜(SEM)的应用较为普遍,扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像,广泛应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造等研究领域。
扫描电子显微镜(SEM)原理:
扫描电镜(SEM)是用电子枪射出电子束聚焦后在样品表面上做光栅状扫描的一种方法,它通过探测电子作用于样品所产生的信号来观察并分析样品表面的组成,形态和结构。 入射电子作用于样品会激发多种信息,如二次电子,背散射电子,吸收电子,俄歇电子,阴极荧光,特征X射线(见图1)等等。 扫描电镜(SEM)主要是通过二次电子,背散射电子和特征X射线(XRD)信号来分析试样表面特性。
图1. 电子与试样相互作用产生的各种信号
从成像原理分析,扫描电子显微镜的分辨率会比透射电子显微镜的分辨率稍差。但它的优势在于可以利用表面处理,创建大样本的图像,尺寸可达几厘米,并且具有较大的景深。因此,来自 SEM 的图像可以较好地表达样品的真实形状。
此外,一种称为环境扫描电子显微镜 (ESEM) 的特定类型的 SEM 能够对潮湿或包含在气体中的样品进行成像。这增加了显微镜可以使用的可使用范围。
比如:TEM透射电镜广泛应用于科研实验室主要用于来研究细菌、组织切片和其他微生物。另外,SEM还经常用于材料科学研究的测试和故障分析,检查高温下的超导体、合金强度和纳米管,最终影响电子产品对航空航天业的影响。扫描电子显微镜还常用于法医调查。比如:通过 SEM 所提供的放大倍数,来分析证据类型的来源,从而得出与法律目的相关的调查结论。
扫描电镜应用实例
1.观察材料的表面形貌
2.PCB覆铜板截面观察测量