型号：荷兰-FEI Titan Cubed Themis G2 300

主要技术指标：

加速电压：60-300 kV

电子枪：超高亮度肖特基热场发射 (X-FEG)  

亮度：8.7 x 107 A/m2/sr/V* @ 300kV

束斑电流：2 nA (0.2 nm Probe)14 nA (1.0 nm Probe)

能量发散度：0.2 eV

极靴间距：5.4 mm

聚光镜球差校正： CEOS DCOR

物镜球差校正： CEOS CETCOR

TEM信息分辨率(Non-linear) ：0.06 nm

STEM分辨率：0.06 nm

EDS能谱：Super-X 4探头超级能谱

EELS：Quantum ER/965 P

CCD Camera：FEI Ceta+speed upgrade

Pixel size：14 µm

样品杆：普通双倾样品杆×1 能谱双倾样品杆×1 三维重构样品杆×1 加热样品杆×1

样品最大倾角：±70°(三维重构) ±40°(α) / ±30°(β)

倾角精度：0.01°(Step Size)

样品台移动范围(X-Y) ：±1 mm (motor)1.2 µm (piezo)

样品台移动范围(Z) ：±0.375 mm (motor)

样品台位移精度：Piezo 20 pm

环境样品杆：可用

主要用途： 双球差校正超高分辨透射电子显微镜可在亚原子尺度下对材料的微观结构、元素成分、化学价态进行观测表征和定量分析，并利用特定设计的样品台进行原位动态实验。

检测项目：形貌观察、选区电子衍射SAED（环衍射、点衍射）、高分辨像、EDS能谱（点扫、线扫、面扫）明场、暗场、Mapping

应用范围：可以对各种材料的物质内部微结构进行观察，电子衍射分析及高分辨电子显微术研究，材料粒径统计，晶体结构及晶体性能进行研究，配合能谱仪可以对各种元素进行定性、及半定量的微区分析，广泛应用于纳米技术、材料、物理、生物、化学、环境、光电子等领域。

球差校正电镜的优势：

ACTEM或者ACSTEM的最大优势在于球差校正削减了像差，从而提高了分辨率。传统的TEM或者STEM的分辨率在纳米级、亚纳米级，而ACTEM的分辨率能达到埃级，甚至亚埃级别。分辨率的提高意味着能够更“深入”的了解材料。