设备名称：X 射线光电子能谱仪（X-ray Photoemission Spectroscopy）

设备型号：Nexsa

设备厂商：美国ThermoFisher

一、设备介绍：

X 射线光电子能谱仪（XPS）利用X 射线照射样品激发出光电子，并通过检测和分析光电子动能大小与光电子强度的关系，确定样品中所含元素种类以及各元素化学态。Nexsa XPS 通过采用全自动化传输部件，实现单批次高通量样品的自动化测试分析，具有深度剖析功能，并采用微聚焦小光斑（最小 10 μm）实现微区成像与成分分析，可以检测分析微型器件，分析半导体材料或器件、粉末等固体样品的元素组成、每种元素的化学价态等信息。

二、技术参数

1、能量分辨率及灵敏度：

• 能量分辨率≤0.5 eV
• 在束斑大小为 400 μm 且光源功率≤80W 的实验条件下，当Ag3d5/2 峰的半高宽≤1.0eV 时，计数率≥4,000,000 cps

2、电子能量分析器：

• 128 通道微通道板探测器
• 能量扫描范围 5eV-3000eV，最小能量步长 3meV
• 通过能为 1-400eV，连续可调

3、X 光源：

• 微聚焦单色化光源，聚焦可获得最小束斑≤10 µm
• 束斑面积从 10μm 至 400μm 聚焦连续可调，步长不超过 5µm
• 光源最大功率150W

4、样品台：

• 多轴样品台：X、Y、Z 方向移动，围绕Z 轴旋转，由计算机全自动控制
• 最大测试样品厚度不小于 20 mm
• 样品台带有束斑孔径、刀刃边、荧光物质、银和金的标准样品台，用于系统自动标定