Sigma300配有in-lens二次电子探测器、样品室二次电子探测器、背散射电子探测器和IR-CCD 摄像机四种类型的探测器，样品台为五轴全自动控制，能够提供出色的分辨率、衬度和亮度，适用于样品形貌的清晰成像。具有高真空和可变压力模式，实现了分析型场发射扫描电镜的高清晰成像。配有牛津EDS能谱仪，实现样品元素点线面分析和定性定量分析功能。

分辨率：1.2nm (15 kV)

加速电压：0.02-30 kV

探针电流4 pA-20 nA

分析元素范围：Be4-Pu94

放大倍数：10-1000 000X

样品要求：干燥固体、块状、片状、纤维状及粉末状均可，导电最好，不导电样品尽量做到薄而小。样品台为直降10mm圆盘丁字台，高度最大不能大于15mm.

SEM是扫描电子显微镜，用二次电子成像的原理来观察某种物质的微观形貌。EDS是能谱仪，是每种元素对应的电子能不同，来鉴别元素，通常与SEM结合使用，也就是说在SEM上安装EDS附件，在观看形貌时，选择一定区域进行EDS测试，就能了解该区域的元素组成。

SEM/EDS能解决什么问题？我们可以从以下4方面进行分类：

1. 微观形貌观察及尺寸测量，如断口显微形貌观察，电子产品内部结构观察，表⾯形貌观察，镀层厚度测量， 锡须长度测量等；

2. 材料微观结构观察，如金属材料的晶粒及晶界分析， 铸铁材料石墨形态分析、钢铁材料的金相观察， 纳米材料分析等；

3. 区成分分析，利用电子束与物质作用时产生的特征X射线，表征材料元素方面的信息，可定性、半定量Be-U的元素 ；

4. 定位测试点，如在失效分析中可以用来定位失效点， 在异物分析中可以用来定位异物点。